製程大廠搶著導入EUV | 微影製程五步驟| 台積電領先製程的光罩潔淨技術| 基於光學成像原理的微影製程| 技術含量需求最高的曝光技術| 搭配EUV ，晶片才能越做越小| 中芯 ... ... <看更多>

DUV深紫外光 就像巨型雷射，在 微影 設備的主震盪艙（ Master Oscillator Chamber）中生產出來：氬氟（ArF）準分子雷射釋放出每秒6,000次的脈衝，相當於 ... ... <看更多>

具深紫外光多孔隙布拉格反射鏡對穿隧接面光電特性影響. 為了解決 DUV 深紫外光微影技術 的問題，作者楊鎔羽這樣論述：. 本研究為了探討如何 ... ... <看更多>

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