... Summary 01:25 光學 微影技術 | Photo lithography 03:01 電子束 微影技術 | Electron beam lithography 04:14 奈米壓印微影(NIL)的 原理 | Nano ... ... <看更多>

浸潤式微影技術根據光學原理，用折射率大於1的「水」取代傳統介質「空氣」，讓曝光光源在照射到光阻前先穿透一層水，讓光的波長減短，聚焦在更細小的區域，縮小線寬。 ASML ... ... <看更多>

圖光罩圖形圖實體圖形原理微影的基本原理是先在晶片表面塗上一層感光材料微影(Lithography) 微影(Lithography) 製程的技術，是在晶片的表面上覆上一層感光材料光阻， ... ... <看更多>

微影技術 如何運作微影系統本質上是一個投影系統，利用光線穿透印有電路圖的光罩， ... 黃光微影製程實務介紹實驗儀器簡介微影原理黃光實驗流程試片清洗與去水烘烤光阻 ... ... <看更多>