關於 scrubber設備 ，我們在網路上蒐集到這些相關的討論、資訊與評價

#11. 乾式廢酸性氣體處理設備(Local Dry Scrubber) - 榮泰環保科技

Local Dry Scrubber 係安裝於半導體與TFT-LCD蝕刻製程設備後端，將蝕刻製程所產生的廢酸性氣體，完全處理到FTIR所能偵測下限以下。

#12. Local Scrubber 設備工程師(新竹)｜棨揚企業有限公司｜新竹市

職務類別：半導體設備工程師、助理工程師、產品維修人員。休假制度：週休二日。可上班日：不限。工作性質：全職。主動應徵、找工作，請上104 人力銀行投遞履歷。

#13. Scrubber實績 - 漢科系統科技股份有限公司

Local Scrubber設備. 銷售實績. Scrubber實績 Scrubber. Scrubber實績. 主要客戶, 安裝概述. 台積電, Thermal Type，Wet Type安裝達1,500台以上並持續進行安裝.

#14. 旺宏電子晶圓五廠製程機台新設尾氣溫室氣體破壞處理設備專案 ...

「TM002 半導體產業含氟及N2O 溫室氣體破壞處理設備排放減量方. 法學」(v01.0) ... 機台時，同步額外安裝「燃燒水洗式」尾氣破壞處理設備(Local Scrubber, LS)共24.

#15. Local Scrubber 設備工程師- 榮威先進有限公司 - 1111人力銀行

台南市善化區工作職缺｜Local Scrubber 設備工程師｜榮威先進有限公司｜月薪3.4萬元以上｜2022/04/06｜找工作、求職、兼職、短期打工、實習， ...

#16. 洗滌塔設備_產品介紹

型式-逆流式(立式) -交叉流式(臥式) 材質-PP 適用產業-化學實驗室,半導體, 電鍍工業, 金屬工業, 金屬拋光研磨, 化學處理, 食品加工，污水處理池廢氣等.

#17. 【scrubber設備】資訊整理& local scrubber流程相關消息

scrubber設備,Local Scrubber 流程- 全台第三方支付網,達思DAS Environmental Expert的廢氣處理設備(DAS local scrubbers) 能處理可冷凝、可燃燒、具腐蝕性、易起 ...

#18. Showa Specialty Gas (Taiwan) Co.,Ltd. - 昭和特殊氣體股份 ...

昭和特殊氣體為日本昭和電工在台設立之子公司，為一以特殊氣體販售、製造為中心，並擴展至一般及特用化學品、電子材料、Scrubber設備等等的總合原物料及設備的專業供應 ...

#19. 臺禹科機公司為台灣第一品牌廢氣處理設備廠 - SEMI

IPI為台灣第一品牌廢氣處理設備製造商,幾乎所有半導體/太陽能/PV/LCD/LED/MEMS /燃料電池廠商都是IPI的客戶. IPI Local Scrubber. IPI provides products that are ...

#20. 半導體廠務類設備- 瀚柏科技prohanns

廠務類設備/ Gas Scrubber / Edwards- Atlas. 洗滌塔/Scrubber. Edwards- Atlas™ 可靠性、極佳的粉體處理能力 ...

#21. 台靖工程技術股份有限公司

56, 奇美電子六廠, Scrubber洗滌塔設備(含加藥系統)(二期), 97.02 ; 57, 奇美電子一廠, VOC水洗塔改善工程, 97.03.

#22. TND型| EBARA CORPORATION - 燃燒式廢氣處理設備

燃燒式廢氣處理設備，以低NOx且豐富的反應副產物對策降低維修成本。TND型採用獨創的燃燒方式，實現了低NOx、低CO排放的燃燒式廢氣處理設備。透過各式各樣的腐蝕・副 ...

#23. 羅德利科技有限公司| Lodery Local scrubber

『羅德利科技有限公司』為國內半導體產業著名local scrubber 設備廠商，致力於研究開發local scrubber之功能更為強大，進階提升處理效能，降低設備成本，並為維護環境 ...

#24. 濕式廢氣處理設備與管路工程 - 元烽企業有限公司

濕式廢氣處理設備與管路工程. 首頁 > 產品介紹 > 濕式廢氣處理設備與管路工程. Central Scrubber-13 · Central Scrubber-4 · Central Scrubber-12.

#25. LOCAL SCRUBBER DRE-半導體超微量分析服務- SGS 台灣

尾氣處理設備去除效率檢測服務LOCAL SCRUBBER DRE (Destruction Removal Efficiency) TESTING SERVICE. 工廠所排放的尾氣通常會先選擇適當的Local Scrubber 進行預先處理.

#26. 廢氣洗滌塔系統 - 晃誼科技

廢氣洗滌塔系統(Exhaust Scrubber System). 本設備由歐洲大廠協助晃誼科技開發完成，有臥式交叉流(Horizontal Cross-Flow) 洗滌塔及立式逆流(Vertical Flow) 洗滌塔等 ...

#27. scrubber設備 :: 全台第三方支付網

全台第三方支付網，scrubber廠商,scrubber原理,scrubber中文,local scrubber流程,local scrubber中文,scrubber半導體,台積電scrubber,local scrubber比較.

#28. 製造設備 - 大陽日酸系統, 氣體公司、新竹氣體公司、氣體工程 ...

製造設備. VEGACLEAN JGT系列. 針對處理對象氣體，通過與最佳的乾式除害劑的組合可靠的進行廢氣處理。從研究用的小規模裝置到製造工廠用的大型裝置，可根據客戶需求 ...

#29. 管理水資源風險 - SK hynix

制定最大程度再利用水資源的目標，並為達成該目標持續擴大設施投資和設備運轉率 ... 為解決上述問題，SK海力士在全球最先研發出了“Water Free Scrubber”設備，即在洗滌 ...

#30. 新長豐微氣泡水洗式廢氣處理設備Titanmicrobubblewetscrubber

新長豐運用jet flow物理機制研發完成高效能微氣泡水洗式廢氣處理設備(Titan microbubble wet scrubber)，能有效的處理氣體及捕捉微粒，延長PM週期。

#31. 鴻中企業股份有限公司Kunstoff Mfg. Co., Ltd

篩板式洗滌塔. Sieve Tray Scrubber. 本設備適用之工業： 本設備在工業用途上可做為各種製程的廢氣處理，如：光伏業、造紙業、肥料廠...等。 設備結構說明：

#32. Quickie Household Power Scrubber 室內的黑色移動設備充電器

The Quickie Handheld Power Scrubber is a great way to get a better clean; Includes two cleaning heads - a sponge scrubber and bristle brush ...

#33. PECVD设备的scrubber的作用和分类以及安装位置 - 沃飞科技

local scrubber专属PECVD单台或多台使用,可分为燃烧式, 加热式, 等离子式, 搭配水洗! Scrubber设备的分类. scrubber根据不同的工艺，产生不同的尾气；选用 ...

#34. local scrubber 設備機台 - 靠北上班族

local scrubber 設備機台靠北上班族，臺禹科機股份有限公司（Integrated Plasma Inc.）/旭禹商贸，從事於特殊製程廢氣處理機台Local S...透過相互分享local scrubber ...

#35. 日揚自製尾氣設備，下季送樣12吋廠 - MoneyDJ理財網

其中，真空領域全方位整合服務商日揚(6208)近年積極發展自有品牌，並取得不錯成績，旗下尾氣設備(Scrubber)預計下季送樣12吋晶圓廠，將進一步挹注業績 ...

#36. SF-高效率洗滌塔淨化設備High Efficiency Scrubber Purification ...

http://www.sanrey.com.tw 源晟環境科技有限公司源晟/翔睿環境科技有限公司專營廢氣處理，其處理 設備 有高效率洗滌塔 設備 、活性碳、除臭劑、廢氣處理、 ...

#37. 加熱燃燒噴淋水洗式PECVD尾氣處理設備（SCRUBBER）

加熱燃燒噴淋水洗式PECVD尾氣處理設備（SCRUBBER） BLCS-400 產品中國製造, 中國北京市貿易商. 尺寸： 800 長×805 寬×1900 高類型：加熱水洗式處理能力： 400 升/ 分鐘 ...

#38. 洗滌塔保養|新竹清潔公司|SCRUBBER 清洗|工程清潔|拉西環購買

新竹.桃園洗滌塔清洗.保養.換拉西環,專為公司空汙防治系統末端清潔,洗滌塔保養`洗滌塔清洗`拉西環清洗,致力於局限空間入槽作業,備有缺氧作業主管及通風設備.

#39. Airiti Library華藝線上圖書館

半導體製程廢氣處理設備出口氟氣檢測分析研究. 並列篇名. Study of Fluorine Gas Detection in the Outlet of Local Scrubber for Semicondutor Process.

#40. 洗滌塔設備 - 威強工程有限公司

威強工程為台南空污設備06-2870799:空污處理防治設備,脈衝式布管集塵,活性碳吸附塔,填充式洗滌塔,抽風機,風管管路工程,旋風式集塵機.

#41. local scrubber - 雅瑪黃頁網

台灣康肯環保設備股份有限公司. 日本康肯株式會社（Kanken Techno）1978年成立，投入高科技產業的揮發性有機氣體（VOCs）處理，已有30年以上專業經驗，為製程廢氣 ...

#42. 科技部新竹科學園區管理局園區環境保護資訊網

1.磊晶製程管路及local scrubber安全風險評估與監控，以減少事故發生時之污染物排放。 2.與空污設備操作部門溝通良好，其有任何狀況即會立即告知，並立刻共同商討最佳 ...

#43. 高效率洗滌塔活性碳設備

洗滌塔,廢氣處理,除臭設備,水洗機,水洗塔.

#44. 含粉塵之廢氣局部處理設備 - 麒翰科技工程有限公司

薄膜化學氣相沉積，可以改善SiH4 高溫分解為二氧化矽(SiO2)粉塵後之洗滌塔及其管線堵塞問題，以及DRY Etching(乾蝕刻)及藍寶石圖案化(PSS)等Cl2 和BCl3之局部排氣處理設備 ...

#45. WFS-100F吸附式local scrubber 尾气处理设备

世界十大电子游戏平台专业研发设计制造高纯工艺气体系统电子特气工艺尾气处理设备local scrubber.

#46. 空污防治設備服務 - 污水處理設備

他們的空氣污染明明有人在賣空汙防制設備可以改善, 加根較高的煙囪, ... PP/PVC洗滌塔（Scrubber）藉由氣液兩相接觸的程序，將廢氣中的無機酸鹼溶質及有機溶質溶入 ...

#47. 填充式洗滌塔– 元鉎企業

洗滌塔(SCRUBBER)是藉由風機，將空氣輸送至有效空間之塔體並將泵浦做適分佈的噴淋，使塔體內液體和氣體之間做充份的接觸，把氣體 ... 設備尺寸可依現場空間作規劃設計 ...

#48. 酸鹼排氣配管工程，化學煙櫃及廢氣處理設備製造

旭麗電子，SCRUBBER設備工程. 愛普生電子，DIW PIPING WORK. 次微米電子所，PCW & DRAIN PIPING WORK. 聯友光電，DIW PIPING WORK. 交通大學，耐酸送風機105台.

#49. 廢氣排放處理系統分類 - 誠陽實驗室設備有限公司

SEX設備主要是一濕式洗滌塔(Scrubber)，利用鹼性(NaOH)循環水沖洗製程排放的酸性廢氣，並藉由酸鹼中和原理將排氣中性化而不具腐蝕性，而排氣的化學物質經沖洗沉降並定量 ...

#50. FRP 洗滌塔、吸收塔、排煙塔( Scrubber , Absorber , Chimney )

規格齊全，依實際需要設計；功效優良，能符合國際標準，是提供環保的最佳品質保證。 1. 尺寸規格. 本公司所生產之FRP填充洗滌吸收塔設備視客戶需要而設計，各種尺寸 ...

#51. 半導體製造企業選擇尾氣處理設備Local Scrubber 的原因

廢氣處理在半導體製造企業中是一個不可或缺的環保環節，作爲大規模、代表先進位造技術的產業，未經過尾氣處理設備（Local Scrubber）治理的廢氣排放將 ...

#52. scrubber廠商 - Ryder

羅德利科技有限公司| Lodery Local scrubber. 『羅德利科技有限公司』為國內半導體產業著名local scrubber 設備廠商，致力於研究開發local scrubber之功能更為強大，進 ...

#53. LOCAL SCRUBBER - 學園科技有限公司

目前位置：產品介紹/ 廢水處理設備/ LOCAL SCRUBBER. LOCAL SCRUBBER. 總筆數( 1 ) 每頁20 筆第. 1. 頁/ 共1 頁, 上一頁 · 下一頁 ...

#54. 排氣系統概說

SEX設備主要是一濕式洗滌塔(Scrubber)，利用鹼. 性(NaOH)循環水沖洗製程排放的酸性廢氣，並藉. 由酸鹼中和原理將排氣中性化而不具腐蝕性，而.

#55. 恆鑫科機股份有限公司

Equipment. • Local Gas Scrubber ( 製程尾段廢氣處理設備) • Emergency Gas Scrubber ( 緊急處理吸附系統) • Thermal Local Chiller ( 熱交換式冰水機)

#56. DAS Escape Local Scrubber:晶圓廠設備 - 二手半導體設備

協助處理您的閒置半導體設備, sales service of used semiconductor equipment world wide, 半導體二手設備, 二手半導体設備買賣, 中古半導体設備.

#57. 洗滌塔

可搭配本公司的溶劑回收設備，回收出高濃度之產品回到製程做使用。 洗滌塔除了本身帶有的物理作用之外，在沖刷之過程中亦可能發生化學作用（如吸收 ...

#58. PV sell 洗滌塔(scrubber)

洗滌塔(SCRUBBER)是藉由風機，將空氣輸送至有效空間之塔體並將泵浦做適分佈的噴淋，使 ... 製程冷卻水,主要供給生產設備做為冷卻的,一般要求溫度不能太低,溫度控制要求 ...

#59. Scrubber - 弘塑科技股份有限公司

國內半導體濕製程設備產業中的領導品牌，於台灣北中南部及大中華地區設立服務據點 ... Scrubber. Scrubber(Wafer clean)機台是水清洗wafer表面，來去除wafer表面外來的 ...

#60. 全自動化設備 - 億力鑫

全自動化設備. Spin Cleaner (Scrubber). ELS512FA (300mm). ELS508FA (200mm). ELS506FA (150mm) · 下一頁 · 1 2. ©2013 ELSTECH All Rights Reserved.

#61. 博碩士論文行動網

論文名稱: 半導體製程廢氣處理設備出口氟氣檢測分析研究. 論文名稱(外文):, Study of Fluorine Gas Detection in the Outlet of Local Scrubber for Semicondutor ...

#62. Marine Scrubber- Exhaust Gas Cleaning systems from ME ...

ME Production offer Open loop marine scrubber, closed loop marine ... 该控制设备监测泵、温度、流量、水处理和废气成分，完全符合“防污公约”附件六的规定。

#63. 洗瓶機Flask Scrubber - 尚上儀器

首頁 · 產品介紹 · 實驗室儀器產品 · 實驗室設備 · 實驗室洗瓶機. 洗瓶機Flask Scrubber. 實驗室儀器產品. 實驗室儀器產品 · 環境設備 · 生物安全操作台.

#64. 找工作-- 職缺介紹 - 台灣就業通

Local Scrubber 設備工程師(新竹)(適用安穩雇用2.0); 公司基本資料：; 統一編號：53998030; 公司名稱：棨揚企業有限公司. 經濟部商業司公司登記資料查詢 ...

#65. Scrubber環保油煙淨化水滌設備型錄 - 罡鼎有限公司

您目前位置：Home / Logo / Scrubber環保油煙淨化水滌設備型錄. Scrubber環保油煙淨化水滌設備型錄. pic02b. 罡鼎遠景與使命. • 罡鼎遠景(Vision).

#66. 廢氣處理系統工程/塔/設備 - 麗百代實業有限公司

廢氣洗滌塔 · 專業廢氣處理系統工程、廢氣處理塔、PP廢氣處理塔/風管、PVC廢氣處理塔/風管、廢氣風管、防震接頭、 Scrubber設計製作 · 處理工廠內產生的可溶性氣體、過濾固態 ...

#67. Scrubber洗滌塔系統

Product > 套裝設備 > Scrubber洗滌塔系統. 套裝設備 ... 為解決: 廢氣淨化之需求，聚富達提供客製化 Scrubber洗滌塔系統，包含Scrubber：汙染物去除率計算& 靜壓 ...

#68. 酸洗場洗滌塔汰舊換新之綜合評估與檢討

本公司為確保污染氣體在排放時能符合法規標準排放量及保持穩定的去. 汙效率，經設備架設場地評估、採購設備型號綜合性能、採購金額預算及修繕. 計畫等考量，最終採用洗滌塔 ...

#69. 洗滌塔

... 洗滌塔 · 濕式靜電集塵機 · 活性碳吸附塔 · 袋式集塵機 · 蓄熱式&蓄熱式觸媒焚化爐 · 乾式靜電集塵機 · 沸石濃縮轉輪系統 · VOC沸石轉輪及焚化爐模廠測試設備.

#70. 半導體製程工藝中矽烷廢氣處理Local Scrubber - 每日頭條

WFS-100F吸附式廢氣處理設備Local Scrubber. 矽烷作為一種提供矽組分的氣體源，反應性和自燃性強烈，有非常寬的自發著火範圍和極強的燃燒能量，毒性很 ...

#71. 空氣汙染防制

氣，增設高效率現址式空氣處理設備（Local. Scrubber），經由電熱水洗式、燃燒水洗式、. 電漿水洗式等特殊設備有效處理剩餘製程廢. 氣，最後再將含微量無機酸鹼之廢氣 ...

#72. 產品一覽| Kanken Techno股份有限公司

觸媒燃燒式除臭設備 · 直接燃燒式除臭設備 · 濃縮式(回轉式)除臭設備 · 濃縮式(固定式)除臭設備 · 溶劑回收設備 · 活性炭吸附設備 · 濕式洗滌塔 · 小型VOC除臭設備 ...

#73. 愛迪亞廢氣除害設備廠商評價高- 產業特刊- 工商時報

GASSMITH系列的乾吸附式Dry Scrubber，可有效淨化製程所產生之有毒氣體，有別於結合燃燒使用的電漿式（Plasma）設備，可降低成本並避免粉塵的產生。 該 ...

#74. 洗滌塔

紙器廠輸送設備 · 噴漆台 · 關於我們 · 營業項目 · 產品介紹 · 最新消息 · 聯絡我們 · 線上型錄. 電話: 04-24913300; 傳真: 04-24925050; 住址: 台中市大里區練武 ...

#75. local scrubber 是什麼

電熱水洗式Local scrubber 基本設置為加熱單元及水洗單元如圖3.3，加熱單元主要以矽碳棒組成，如 ... 酸鹼廢氣洗滌塔、水洗塔、Scrubber 原理、功能計算及設備介紹。

#76. 新世代低溫PFCs處理設備開發技術-技術移轉-產業服務

The core technologies of local scrubber had been controlled by foreign makers for a long time. In recent years, the domestic local scrubber makers have ...

#77. M9503 桃廠新建高壓鍋爐投資計畫新舊工場性能整合及製程 ...

三、 煙囪排放設備，包括去除NOx 之SCR 及SOx 洗滌塔。 鍋爐排煙脫硫系統、硫氧化物(SOx)之鹼洗裝置(Scrubber)設於煙道內部。鍋. 爐排煙量分兩道由擋板(damper)控制， ...

#78. 自動洗地機| 德商凱馳清潔設備股份有限公司 - Kärcher

如何辦到？與手動清潔相比，洗地機減少了工作和耗材成本，同時提高了清潔品質與效率。 Man seen cleaning a linoleum floor using a Kärcher scrubber dryer ...

#79. 飛鵬環境工程有限公司: 飛鵬環境工程_洗滌塔,空氣污染防治 ...

飛鵬環境工程有限公司在廢氣及空氣污染防治已有無數實績與案例,空污設備,空污工程,工廠廢氣處理工程,排煙設備,排煙工程,污水工程,空污工程,二氧化氯電解機.

#80. 愛迪亞廢氣除害設備廠商評價高 - 奇摩新聞

GASSMITH系列的乾吸附式Dry Scrubber，可有效淨化製程所產生之有毒氣體，有別於結合燃燒使用的電漿式（Plasma）設備，可降低成本並避免粉塵的產生。 該 ...

#81. 產業綠色輔導與推廣網站

焚化灰渣熔融處理之重金屬揮發特性研究; 以Cu/Ce觸媒對氨催化燃燒之研究; 白煙/異味改善方法研究及Scrubber串聯設備之應用; 光電業沸石濃縮轉輪處理系統效率提升改善 ...

#82. Scrubber - 瑞昇國際

Scrubber,DAS Scrubber ,TCT,Clean-S PFNC,Clean-S PF,半導體,二手設備,半導體設備,瑞昇國際,二手設備,中古設備,SEMICONDUCTOR,冷水機,Chiller,冰水機,

#83. 從製程微控到尾氣處理奇鼎提供化學物解決方案

奇鼎科技深耕半導體製程環境控製設備製造、製程機台維修與保養、建廠整合等 ... 原先透過濕式洗滌塔＋沸石轉輪(Scrubber + Rotor)不僅運轉成本高，且 ...

#84. 酸鹼洗滌塔 - 顥葳股份有限公司

我們致力於空氣流動及固氣分離設備之研發設計製造，洗滌塔是我們一項主要工程實績，基於我們在污染防治的專業，打造酸鹼洗滌塔又稱酸鹼廢氣洗滌塔為主要項目之一。

#85. SCRUBBER - 勞動部勞動及職業安全衛生研究所

出處Reference, 美國安全工程師協會. 中文詞彙, 濕式洗滌器. 英文詞彙, SCRUBBER. 附註說明Annotation, 控制空氣污染設備的一種，為利用噴水以捕集污染物並使排放物 ...

#86. 日揚自製尾氣設備，下季送樣12吋廠

其中，Scrubber新設備採用微氣泡結構系統(micro bubble system)，較傳統灑水式的Scrubber的處理效率來得好，捕捉率達9成以上，去年出貨予面板廠，預計今年 ...

#87. 02立式洗滌塔

立式酸鹼洗滌塔/水洗塔/洗滌器設備製作說明。可依現場需求設計(廢氣量/現場高度/廢氣種類/排放標準)設計洗滌塔.

#88. DNS ,MKT Scrubber (晶圓清洗) - 霈錦科技有限公司

服務選單. 半導體設備,零件,耗材銷售 ... DNS ,MKT Scrubber (晶圓清洗). 企業產品分類一. 頁面: 1. 12inch scrubber · DNS ,MKT Scrubber (晶圓清洗) » Scrubber ...

#89. 有關Scrubber 中pH 控制Sensor 不預期故障的快速處理方式

之設備操作許可證pH 登錄的許可範圍。而一般廠. 務在保養洗滌塔pH sensor 時，不外乎定期清潔、. 校正及更換等方式。但仍無法完全有效防止故障的.

#90. 技術服務

Local Scrubber 去除率量測及診斷 參考SEMI S29 氟化溫室氣体排放與減量及SEMI S6 半導體製造設備的排氣通風安全衛生。 環保規範，進行Local Scrubber ...

#91. local scrubber 簡介– local scrubber 原理 - Phoenixwer

尾氣排放有無獨立之Local Scrubber: 有燃燒及水洗方式的廢氣處理器CDO 反應腔溫度範圍: ... 公司簡介『羅德利科技有限公司』為國內半導體產業著名Local Scrubber設備 ...

#92. 活性碳濕式洗滌塔|水洗台 - 永鋒防治污染企業有限公司-集塵機

2. 研磨、 有機溶劑…等作業場所。 集塵系統 | 集塵設備 | 集塵機 | 風管設計 | 水洗台| 過濾機. 永鋒門市地址：高雄 ...

#93. 經營理念 - 東服企業

全球半導體、光電、能源、航太等相關產業均以亞洲區為發展最快，而亞洲的發展重點區就在台灣、中國、日本、韓國，我們所供應之廢氣處理設備(Local Scrubber) 、真空 ...

#94. SGS斥資近億元設立氣體分析及研發中心 - DigiTimes

而在特殊氣體使用後端的尾氣處理設備(local scrubber)，SGS也可以協助客戶提供尾氣處理設備效能DRE的驗證，以確保處理過後之尾氣是在中央處理 ...

#95. PFCs減量處理設備技術開發兼顧綠色環境與關鍵產業之永續發展

2001年以前，台灣並無充足的國產局部. 廢氣處理設備(Local Scrubber)自製能量，每座半導體及光. 電廠皆需花費新台幣數億元自國外購進局部廢氣處理設備。 然而，自國外購入 ...

#96. 工程實蹟

創世應用科技有限公司03-5304163專營: 設備拆裝機,設備機台翻新,二手設備零件販售,二手設備機台販售,半導體設備販 ... DNS Wet Station FC3100、Wafer scrubber SS3000 ...