訊號回應度量(Signal Response Metrology,SRM)是一種新的測量技術,透過將焦點、劑量或CD與以SCD為基礎的度量工具之光譜回應做出關聯,來避免幾何建模的需求。 http://www.edntaiwan.com/n…/article/20160826TA01-SRM-SCD-SWA Tags: cd metrology 0 comments 3 likes 0 shares Share this: EE Times Taiwan About author EE Times《電子工程專輯》結合實體雜誌與數位電子報。 每日提供最新的電子產業資訊與科技趨勢,並分享研討會資訊。 <和工程師們一起改變世界,與電子產業共同創造未來> 6762 followers 6191 likes "http://www.eettaiwan.com/" View all posts