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圖3.1 燃燒水洗式Local Scrubber. ... Local Scrubber - 濕式洗滌設備 ... 此類型scrubber 的原理是利用電熱的方式讓製程尾氣於高溫環境下, . ... <看更多>
local scrubber 種類有吸附式.電熱式.水塔式.還有燃燒式.其實都會對應樓上主機台來找出最適合的. 原理其實都 ... ... <看更多>
博碩士論文下載網，scrubber原理,local scrubber是什麼,local scrubber流程,scrubber是什麼,scrubber設備,scrubber ... Scrubber），經由電熱水洗式、燃燒水洗式、. ... <看更多>
最新款電熱水洗式廢氣處理機為高端半導體製程廢氣的處理系統，有高溫電熱式腔体，將製程所產生的廢氣，利用特殊設計的一個反應室，反應成粉末或是反應成溶解於水中的 ...
#2. 第三章製程尾氣處理研究實驗設備
本文研究對象為電熱水洗式Local Scrubber，利用高溫750℃加熱裂解. CVD、Dyr Etch 製程所產生的氣體，再以水洗方式吸收受高溫裂解的廢氣，經.
#3. SGA-310B+ - IPI Local Scrubber 臺禹/旭禹製程廢氣處理設備
加熱爐簡單更換結合電熱式及溼式系統於單一機台中粉塵補捉效率高水溫偵測感應系統。 低耗水量之專利設計。 智慧型電子控制系統。 設有雙馬達排水系統。 作業溫度850 度， ...
產品介紹. 除害設備. 此為將水洗技術和熱氧化技術精巧融合在同一機台內的除害設備。 熱源採用最適合節能的電熱式。 加熱器式 · 電漿式 · 混合式.
#5. 棨揚企業有限公司
電漿水洗式尾氣(廢氣)處理機- CVD & Etch 多粉塵專用 ... 機台類型：EP System 安裝於Local Scrubber 後端或是Central Scrubber 前或後方(依處裡需觸求).
#6. 穩懋半導體製程機台Local Scrubber 改採電漿式計畫書
本專案以電漿式尾氣處理器更換取代電熱式尾氣處理器，將可有效降低化學氣相沉. 積製程之氟化氣體排放量。參採行政院環境保護署規範，本專案適用之減量方法為：. 「TM-002 ...
#7. 廢氣處理設備 - JB產品網
台灣康肯環保設備股份有限公司廢氣處理設備,Local Scrubber,電熱式,廢氣處理,Scrubber,水洗式,NF3,SiH4,PH3KT1000FA設備採電熱水洗式設計，比一般瓦斯 ...
#8. 專為高科技產業所提供的廢氣處理系統| DAS Local Scrubber
達思DAS Environmental Expert的廢氣處理設備(DAS local scrubbers) 能處理可冷凝、可燃燒、具腐蝕性、易起反應、有毒和易自燃的氣體(例如: 矽烷、有機矽烷、松油醇、 ...
ECOSYS local scrubber由ATMI公司成立于1984年，属于世界上第一台尾气处理装置。 Marathon 系列（燃烧-水洗式，适用于PFC/CVD/ETCH/DIFF). CDO 系列(电热-水洗式，适用 ...
#10. 半導體高碳當量溫室氣體N2O處理技術介紹與展望 - 材料世界網
2015年巴黎協議之後，N2O之排放問題，漸漸浮上檯面。在傳統的電熱水洗式Local Scrubber上所提出之改善方案有二：其一為持續升高電熱腔體溫度，在達到 ...
#11. 台灣康肯環保設備股份有限公司－詢價官網
VOC觸媒燃燒式瓦斯燃燒式活性碳溶劑回收式半導體廢氣處理Scrubber. ... 有30年以上專業經驗，為製程廢氣處理（Local Scrubber）的專家，在日本Scrubber界市占率第一。
#12. 空氣汙染防制
氣，增設高效率現址式空氣處理設備（Local. Scrubber），經由電熱水洗式、燃燒水洗式、. 電漿水洗式等特殊設備有效處理剩餘製程廢. 氣，最後再將含微量無機酸鹼之廢氣 ...
#13. 臺禹科機公司為台灣第一品牌廢氣處理設備廠 - SEMI.org
臺禹公司在台灣是Local Scrubber市場占有率最高的公司，臺禹公司正致力於Local Scrubber市場占有率世界第一。 ... 電熱式Heater 廢氣處理機Wet-Thermal-Wet系列：.
#14. 標竿案例
更換高效率電熱式Local Scrubber(全廠共35台)，可降低F2排放濃度，汰換後每台L/S電費用量亦可降至7.64kW/hr，評估每年用電量可下降462966kW，佔整廠年用電量0.29%， N2 ...
#15. 利用實驗設計法改善廢氣處理設備排放濃度最佳參數設定
... 本研究針對電熱式local scrubber處理NF3過程影響去除效率因素，並利用2K-p部分 ... 本論文以台灣某半導體廠為例(A公司)提供之G廠牌local scrubber安裝於CVD區域的 ...
#16. Htc日揚真空｜Local Scrubber濕式洗滌設備-吸附式尾氣處理 ...
Htc日揚真空提供微氣泡水洗式廢氣處理設備(μ-Bubble Wet Scrubber) 銷售與保養服務，以高標準、高品質的產品與標準維修保養程序管理，為先進半導體製程等高科技產業 ...
#17. 中鴻鋼鐵股份有限公司熱軋廠 - 產業節能減碳資訊網
烤一線蓄熱式焚化爐(RTO)取代直燃式焚化爐(TO)。 ... 盛鋼桶加裝蓄熱式燃燒器 ... 熱式Local Scrubber(電熱式僅於Tier 2b 計算才被認列具有處理效率)。
#18. 半导体工艺废气处理Local Scrubber的处理方式 - 沃飞科技
如表一所示. 处理方式适用范围优点缺点 水洗时设备便宜处理方式简单仅能处理水溶性气体 电热水洗式应用范围 ...
#19. Local Scrubber Introduction-10.27 - 百度文库
Local Scrubber Introduction-10.27-L各o类ca型l LSSc机r理ubber类型 干式吸附式（Dry type）：使用吸附剂，通过物理或化学吸附法去除尾气，对于化学性质较稳定的气体 ...
#20. local scrubber原理2023-在Facebook/IG/Youtube上的焦點新聞 ...
圖3.1 燃燒水洗式Local Scrubber. ... Local Scrubber - 濕式洗滌設備 ... 此類型scrubber 的原理是利用電熱的方式讓製程尾氣於高溫環境下, .
#21. 竹科半導體廠廠務端local scrubber的疑問??? - Mobile01
local scrubber 種類有吸附式.電熱式.水塔式.還有燃燒式.其實都會對應樓上主機台來找出最適合的. 原理其實都 ...
#22. Scrubber 半導體 - caperphan.fr
水洗式Scrubber可有效處理製程出口端廢氣中的水溶性汙染物。 ... 專業經驗，製程廢氣處理（Local Scrubber）的專家，如電熱式、水洗式、燃燒式設計， ...
#23. 則包含該關鍵詞出現在任一欄位(含基本資料及摘要)的所有計畫
關鍵字：全氟化合物；電熱水洗；局部尾氣處理設備；能效；污染物去除率. 化學氣相沉積反應腔的清潔及乾蝕刻製程廣泛使用 ... 協助技轉廠商，建置PFC電熱式觸媒量產生產.
#24. Local scrubber 加熱器 - 匯鉅企業有限公司
金屬製加熱器 Local scrubber 加熱器. BACK. TOP. © 2016 匯鉅企業有限公司All Rights Reserved. 地址：325桃園市龍潭區工一路150巷32號Tel:03-4990984 Fax:03-4991037
#25. 其他
式)，將CUPS 切至效率較高之ECO 模式, 減少耗能。 ... LSR HF-ROR RO HP(High Pressure Pump)多段式高揚 ... P1~4 電熱式Local Scrubber，P1~4 電熱式LSC 備機維.
#26. 兆盈奈米科技股份有限公司- 最新職缺徵才簡介｜518熊班
兆盈奈米科技股份有限公司簡介：本公司成立於93年至今，已有10年以上專業經驗，製程廢氣處理（Local Scrubber）的專家，如電熱式、水洗式、燃燒式設計，在台灣本地、 ...
#27. 溫室氣體盤查與減量研究- 以某TFT-LCD 廠為例
5.目前TFT-LCD 產業在計算PFCs 排放量時均以IPCC Tier 2C Method 計算，這個. 方法只需統計全年PFCs 使用量及local scrubber 安裝率，且電熱式local scrubber. 之處理效率 ...
#28. Scrubber 半導體 - smart-saone.fr
水洗式Scrubber可有效處理製程出口端廢氣中的水溶性汙染物。 ... 專業經驗，製程廢氣處理（Local Scrubber）的專家，如電熱式、水洗式、燃燒式設計， ...
#29. 台灣康肯環保設備股份有限公司 - 工商快訊
... 為製程廢氣處理(Local Scrubber)的專家。設備採電熱式設計, 比吸附式機種節省耗材成本, 也不會有燃燒式機種會產生二氧化碳的問題且均溫性佳, 處理效率較高, ...
#30. 力晶科技股份有限公司P1/2 - 新竹科學園區管理局
在考量製程操作穩定度的需求前提下，我們經審慎評估後採用了蓄熱式焚化爐(RTO) ... 之Local Scrubber包括燃燒、觸媒、電漿以及電熱等四種型式，至2008年9月，力晶廠內 ...
#31. 第三章製程尾氣處理研究實驗設備3.1 製程尾氣處理設備Local
全台第三方支付網，原理是將PFCS 分子裂解後，使F-和H 反應生成HF，. 再以濕式水洗方式將水溶性的HF 移除，如圖3.1。 圖3.1 燃燒水洗式Local Scrubber.
#32. 用以轉化SiH4的電熱氧化裝置-技術移轉-產業服務
市售處理半導體製程尾氣之SiH4的裝置，以電熱氧化腔(electro-heating/thermal type)及燃料燃燒 ... 光電、半導體業及其局部處理設備(local scrubber)供應商。
#33. 台灣康肯環保設備股份有限公司 - JB工商服務網
VOC觸媒燃燒式瓦斯燃燒式活性碳溶劑回收式半導體廢氣處理Scrubber,我的電話:03-5773616#109. ... 關鍵字：電熱式,廢氣,燃燒,VOC,熱交換器,SCRUBBER.
#34. 氣體吸附器- 其他設備 - 允利榮機械有限公司
半導體或TFT 製造業，製程中產生之氣體於真空幫浦與Local Scrubber 之間裝設，氣體吸附 ... 增加Local scrubber performance，降低廠務主風管塞管之疑慮，降低電熱器之 ...
#35. 台灣積體電路產業發展概況
個互補式金屬氧化物半導體積體電路，隨後RCA ... 多段處理：強化現址式設施(Local Scrubber) 及中央多段式處理(Central ... 電熱+水洗式.
#36. voc廢氣處理- 環境保護相關資訊 - Udn 部落格
台灣康肯環保設備股份有限公司/ 廢氣,電熱式,燃燒,VOC,熱交換器,SCRUBBER. www.035773616.web66.com.tw. 日本康肯株式會社（Kanken Techno）1978年 ...
#37. 威榛科技股份有限公司
We Solutions Technology Co., Ltd. 光電/半導體廢氣處理系統. Local Gas Scrubber. 燃燒式淨氣器. Burn-Wet Scrubber. 電熱式淨氣器.
#38. scrubber台積電 :: 博碩士論文下載網
博碩士論文下載網，scrubber原理,local scrubber是什麼,local scrubber流程,scrubber是什麼,scrubber設備,scrubber ... Scrubber），經由電熱水洗式、燃燒水洗式、.
#39. 1. 全氟化物氣相層析方法之建立及半導體工業中洗滌器效率評估 ...
... 採樣袋量測結果顯示燃燒式洗滌器DAS對C3F8移除效率高達90%以上，而電熱式 ... Usually these chemicals are to be removed by local scrubbers to ...
#40. 新型半導體全氟化物廢氣電漿處理技術
製程機台氣體排放口使用FTIR 進行監測控制式熱 ... 但依據鄭瑞翔等人對電熱式處理設備的研究 ... K. Ri, ITRI Local Scrubber Symposium, Hsinchu, Taiwan, Sep.
#41. Ipi-tbc / IPI Local Scrubber 臺禹/旭禹製程廢氣處理設備
IPI has a strong R&D team focus on local scrubber in Taiwan, ... 觸媒,活動觸媒,氫化物料吸附劑,酸性吸附劑,水洗式,電熱水洗式,燃燒水洗式,純燃燒式,乾式吸附, ...
#42. 案例二十一- PFCs減量處理設備技術開發兼顧綠色環境與關鍵 ...
廢氣處理設備(Local Scrubber)自製能量，每座半導體及光 ... 成功開發出自製之電熱式與燃燒式局部廢氣處理設備，處理效率與國外一流產品相較.
#43. 環境總覽 - PSMC ESG
舊型電熱式Local Scrubber汰換為新型燃燒式Local Scrubber，NF3去除效率由50.0%提升至99.7%，P1/2廠共汰換完成16台。 政策. 導入ISO 14001等國際管理系統，並制訂「環 ...
#44. 投資臺灣入口網Invest Taiwan_多媒體影音(在臺成功外商)
... 基地，台灣則是生產基地，以量產半導體製程電熱式廢氣處理設備為主。 ... 淨零排放路徑前進，而康肯集團作為製程廢氣處理(Local Scrubber)專家， ...
#45. 十二廠七期- 節能案例分享
Local Scrubber (電熱式)獨立備機於未盡氣情況下停機至常溫,節能LSC Heater用電. -. -. 漢X backup LSC 5.62kW(810度C)-1.11kW(idle)=4.51kW, ...
#46. 排氣系統概說
ventilation)與局部排氣(local exhaust)兩種工 ... Fume Exhaust、HVAC、Gas Cabinet、Local Scrubber) ... 處理設備本身主要也是一濕式洗滌塔(Scrubber)，.
#47. 1.+全氟化物氣相層析方法之建立及半導體工業中洗滌器效率 ...
... 袋量測結果顯示燃燒式洗滌器DAS對C3F8移除效率高達90%以上，而電熱式洗滌器CDO ... Usually these chemicals are to be removed by local scrubbers to prevent ...
#48. 半导体厂常用废气除害设备选型介绍 - 知乎专栏
催化吸附式；; 电热过滤式； …… 各类型Local Scrubber各有优缺点，我们应根据实际废气的种类及其理化性质 ...
#49. 公開說明書 - 群益金融網
裝置高效率電漿式Local. Scrubber 於位於新竹科學園. 區及台南科學園區之廠區. 以汰換去除污染物效率較. 低之電熱式或水洗式Local. Scrubber 及增加處理備載能.
#50. 溫室氣體盤查作業常見問題與系統更新說明
local scrubber. 類型. 備註. M01 260001/積體電路製造程序GS01 8999/其他化學操作單元. CF4 CVD. 電熱式. 涵蓋機台編號03~09.
#51. 氣體吸附器- 化工機械 - CENS.com
吸附器之構造，採用不銹鋼雙面吸網，內夾層水冷式雙迴路冷卻管可拆式吸附式。 ... 半導體或TFT 製造業，製程中產生之氣體於真空幫浦與Local Scrubber 之間裝設氣體吸附 ...
#52. 能源計量標準技術發展計畫(2/4) （第二年度）
in PFC-treating Local Scrubbers)」，會中與日、韓等國代表針對. 此量測方法及評估結果進行技術交流 ... 熱觸媒式、電熱式、電漿式及燃燒式，其中以燃燒式最為被廣泛.
#53. 南亞科技股份有限公司企業社會責任報告書
另本廠擴散製程使用之Local Scrubber. 為電熱水洗式，處理氣體為SF6，一般處理效率可達90%以上。本廠訂定Local. Scrubber 使用前PFC 削減率之驗收標準，對於CF4 氣體 ...
#54. 溫室氣體排放量盤查登錄作業說明 - 桃園低碳綠色城市網
local scrubber. 類型. 備註. M01 260001/積體電路製造程序GS01 8999/其他化學操作單元. CF4. CVD. 電熱式. 涵蓋機台編號03~09. M01 260001/積體電路製造程序GS02 ...
#55. 漢星科技股份有限公司EVERSTAR CORPORATION - Twinner
Wet Scrubber System. 5.水處理設備系統. 6.設備維護保養 ... Sussman 電熱式鍋爐. 4.Vahterus 板殼式熱交換器 ... 現場控制盤(Local Control Panel) ...
#56. Local Scrubber - 濕式洗滌設備
Local Scrubber ◎Local Scrubber◎Local Scrubber◎Local Scrubber原理利用填充物所產生的巨大接觸面積，氣體與藥液充分密切接觸，產生化學中和作用，使空氣達到洗淨 ...
#57. LocalScrubberIntroduction-10.27_人人文库网
Hazards of Process Exhaust Gases Scrubber l全氟化物PFCs为京都议定书 ... 填充水洗式Local crubber;一般采用干式吸附式/燃烧水洗式或电浆式的Local ...
#58. 台灣康肯環保設備股份有限公司 - 雅瑪黃頁網
... 廢氣處理（Local Scrubber）的專家，在日本Scrubber界市占率第一。Kanken台灣子公司---台灣康肯環保設備公司2008年7月成立。 KT1000FA設備採熱電式設計，比吸附式 ...
#59. 氣態全氟化合物的環境衝擊與排放監測方法
洗滌器（Local scrubber）以去除殘餘PFCs。初級洗滌器依功能主要可分. 為燃燒式、電熱式、觸媒式及電漿式等四類，目前較為普遍使用之機型. 為燃燒式的初級洗滌器。
#60. 盛剑环境（603324）
属设备领域，相关产品包括Local Scrubber（L/S 设备）和LOC-VOC 设备。 ... scrubber 尾气处理设备、燃烧式scrubber 特气尾气处理装置、水洗.
#61. 北京京仪自动化装备技术有限公司（简称
... 包括机器人系列（Wafer Sorter/AMR）、半导体温控装置系列（Chiller）、废气处理装置系列（Local Scrubber）等专用设备，现已广泛应用于半导体、LED、LCD等领域。
#62. 嘉芯迦能-新员工入职培训考试 - 问卷星
4. 我公司的Local Scrubber包含以下哪些型号？ 电热水洗式 燃烧水洗式 等离子水洗式 药剂吸附式. 5. 员工一个月从第（ ）次补卡会被扣除当月全勤？
#63. Newsletter - 台灣氣膠研究學會
括了沸石濃縮轉輪、節能高沸點VOCs 冷凝器、防範系統氣壓震設計及蓄熱式 ... 其上塗覆沸石、氧化鋁或活性碳等吸附材料，形成一個可利用電熱脫附吸附轉.
#64. TWI682894B - 氫氣回收再利用系統 - Google Patents
等先行去除，留下無害氣體進入所述電化學氫氣純化裝置21，尤須說明的是，該區域洗滌塔依原理可分為電熱水洗式、填充水洗式、乾式吸附式等，而於本發明氫氣回收再利用 ...
#65. 特氣系統的尾氣該如何處理？——沃飛特氣經驗分享 - 人人焦點
方式水洗時，設備便宜處理方式簡單，僅能處理水溶性氣體；電熱水洗式應用 ... 或配置適合工藝氣體特性的小型廢氣處理設備(Local Scrubber)，以減少在 ...
#66. 最新亮點 - PMC
我們擁有最完整的電氣安規測試項目，目前已檢測產品範圍包含了：複合式&電熱類 ... PMC已於2022年取得TAF認可IEC 60034-1 / ECE R85實驗室，將協助各式AC馬達與DC馬達 ...
#67. 热烈欢迎利微成科技加入协会大家庭 - 广东省半导体行业协会
... 半导体装备制造企业，主要产品包括废气处理设备系列（Local Scrubber）、干式吸附废气处理设备、电热水洗废气处理设备、等离子废气处理设备、干式 ...
#68. 序
改善前該醫院OR 空調濕度控制原採用電熱器加熱除濕裝置，不但消耗電能且常有追逐 ... 該廠改前機台Local Scrubber 的裂解溫度是設定在800 度，較為耗電，且機台Local.
#69. 99 年度電子半導體生產設備製造業原物料耗用通常水準
尾氣排放有無獨立之Local Scrubber：水洗式、燃燒箱. 6. 反應腔溫度範圍：70℃ (chamber C) ; 180°C (chamber A). 7. 冷卻系統種類：廠務供應冷卻水.
#70. 尾气处理设备
半导体工艺尾气处理设备Local Scrubber中的“安全”_气体 ... 2015-7-10 · 电热水洗Scrubber_BWA尾气处理器精品PPT 系统标签： scrubber 加热室bwa 加热棒消耗品处理 ...
#71. 新竹園區周界異味污染調查與化學物質關聯性探討 - 國科會
(4) Local scrubber 操作參數調整及最佳化：提高操作溫度改善破. 壞效率、電熱式改為燃燒式、調整氣燃比、洗滌塔部分提高. 換水頻率。 (5) 洗滌塔水質改善及操作參數 ...
#72. 台禹科機股份有限公司 - 12P4Hv3
半導體廠內的7S訓練課程半導體廠內製程使用氣體危害告知課程SCRUBBER 機台性能操作 ... 代理台禹科机股份有限公司IPI生产的废气处理设备Local Scrubbers及其零配件。
#73. 2013企業責任永續報告書 - 凌巨科技
此外於製程設備後端裝設之燃燒式Local Scrubber 或少部份之電熱式Local Scrubber，將製程使. 用後之全氟化物、易燃性及毒性等特殊製程廢氣進行燃燒等特殊處理，再經 ...
#74. 盛剑环境（603324） - 阿米巴物联
属设备领域，相关产品包括Local Scrubber（L/S 设备）和LOC-VOC 设备。 ... 电热水洗式废气处理设备、水洗式废气处理设备、干式废气处理设备.
#75. 集成电路行业废水处理新工艺及中水回用的研究与实践[专业
蚀刻技术主要有干式蚀刻（Dry Etch）和湿式蚀刻（Wet Etch）两种。 ... 处理之排气现场废气处理设备（Local Scrubber）依其原理主要分为以下4 电热 ...
#76. 台積公司民國106年度企業社會責任報告書
為了善盡監督責任，台積公司董事會建立了各式組織與管 ... 空氣處理設備（Local Scrubber），經由燃燒式或電. 漿式等特殊設備有效處理剩餘 ... 電熱+ 水洗式. 冷凝式.
#77. 華邦電子安全衛生及環保規則 - Winbond
針對電熱式及燃燒式尾氣處理設備之溫度控制/pH 設定基準/循環水流量/供水控制/排氣 ... 燃燒式Local Scrubber Burner Chamber House Exhaust 應增置有製程氣體中屬易燃 ...
#78. 2016 企業社會責任報告書 - 穩懋半導體
的local scrubber 的PFCs 之破壞去除效率指. 定為90%，而穩懋目前所使用之電熱式local scrubebr 的破壞去除效率為0-10%，因此為. 降低溫室氣體排放量，基於技術及經濟 ...
#79. 泛半导体废气治理服务商，系统+设备双轮驱动 - Stock.us
工艺废气根据需求采用干式吸附式/燃烧水洗式/电热水洗式/等离子（Plasma）水洗式等不同源头治理设备（Local Scrubber，简称L/S）净化处理后，再纳入 ...
#80. CO及RCO及TO及RTO焚烧炉废气处理工艺介绍
废气焚烧炉分为直燃炉TO炉、蓄热式高温氧化炉RTO炉、蓄热式催化氧化炉RCO ... 催化燃烧的预热废气加热采用无污染、运行稳定的电加热方式，电热管分成 ...
#81. 2020 企業社會責任報告書 - Nuvoton
產生製程廢氣，部分藉由現址式空氣處理設備(Local Scrubber) 進行第一階段高濃度有效 ... 的廢氣在製程設備端之現址式空氣處理設備以吸附式、電熱式或洗滌設施進行特殊.
#82. Scrubber 設備 - hightickets.es
気液接触を実現したスクラバー（排気処理装置） デオライザーの詳細を見る達思DAS Environmental Expert的廢氣處理設備(DAS local scrubbers) 能處理 ...
#83. 空氣污染控制與設計 - 中山大學環境工程研究所
除了文氏洗滌器(venturi scrubber)外，各種濕式集塵器對於1 µm 以下微粒之. 去除效果不佳。 ... 常見的有兩種：(1)電熱線：可依所需加熱的熱量，選擇電熱線圈的數量，.
#84. Local Scrubber - 濕式洗滌設備- 立豐興業社
Local Scrubber ◎Local Scrubber◎Local Scrubber◎Local Scrubber原理利用填充物所產生的巨大接觸面積，氣體與藥液充分密切接觸，產生化學中和作用，使空氣達到洗淨 ...
#85. Atlas - Edwards Vacuum
Atlas 廢氣處理技術︰一系列燃燒式廢氣處理解決方案- 針對您的製程而設計：. 適用於常見CVD 氣體(NF3/F2) 的Atlas TCS; 適用於CVD 製程中PFC 氣體(ClF3、C2F6、C3F8) ...
#86. 日商澄明科技有限公司台灣分公司 - 104人力銀行
... 處理機的需求不斷的增加, Clean Technology 目前於台灣主要銷售為半導體科技廠之廢氣處理設備(Local scrubber), 已獲得tsmc, UMC , Winbond等大廠認證並持續採購中 ...
#87. 尾气处理器 - 上海协微环境科技有限公司
尾气处理器(Local Scrubber)广泛应用于泛半导体行业(半导体、面板、太阳能、LED）的生产工艺，包括CVD、 Diffusion、Etching和Ion implantation，可安全有效处理氟 ...
電熱式local scrubber 在 local scrubber原理2023-在Facebook/IG/Youtube上的焦點新聞 ... 的推薦與評價
圖3.1 燃燒水洗式Local Scrubber. ... Local Scrubber - 濕式洗滌設備 ... 此類型scrubber 的原理是利用電熱的方式讓製程尾氣於高溫環境下, . ... <看更多>